全新的Precis 200 是基于Micro-Metric的Innova晶圆量测系统开发而来，集成了VIEW--进的设计和技术。新的PRECIS包括许多可配置的选项，使该系统更加通用、实用和可靠：
扩展Z轴范围-2.5mm，5mm或100 mm.
透射照明
完整电子绘图 – 完全符合 SEMI S2 和 CE 标准。
符合人体工程学的操作员控制台 ，带有隐藏键盘托盘, 可调节高度和角度的控制面板和显示器,符合SEMI S8
全自动程序控制显微镜头
兆像素分辨率摄像头
VIEW Metrology Software (VMS™) 可以测量的零件类型很广泛, 可选CAD导入 以及完整的几何尺寸和公差判定。
MMWin – Wafer和Mask测量软件 –晶圆的重要尺寸和迭置重合测量, slider ABS,光掩模和平板显示器。